深圳市博亞精密儀器有限公司
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三坐(zuò)标測量儀除了(le)定位誤差,直線度誤差,角運動誤差,垂直度誤差這(zhè)四個(gè)幾許誤差之外,還(hái)有因爲力變形、熱(rè)變形、測量體系、測頭體系、控制體系、數據記錄和(hé)處理(lǐ)體系發生的(de)誤差:
1、力變形誤差
三坐(zuò)标測量儀作爲一種精密測量儀器應有較高(gāo)的(de)剛性,使力變形不成爲影(yǐng)響三坐(zuò)标測量儀測量精度的(de)重要因素。但随著(zhe)各行業生産節奏的(de)加快(kuài),對(duì)三坐(zuò)标測量的(de)效率要求也(yě)進步了(le),包括較高(gāo)的(de)運動速度和(hé)探測速度,這(zhè)就要求它的(de)運動部件質量要輕,但這(zhè)與提高(gāo)構件的(de)剛度存在矛盾。
2、熱(rè)變形誤差
要了(le)解三坐(zuò)标測量儀的(de)熱(rè)變形,首要要對(duì)儀器及被測物(wù)件及環境的(de)溫度進行測量。爲了(le)完成熱(rè)變形誤差補償,需求在三根标尺上、被測件上貼測溫元件,在空氣中也(yě)需放置測溫元件,以查看環境溫度及溫度梯度是否契合要求。隻有在環境溫度契合要求時(shí),檢驗測量儀的(de)性能才有意義,同時(shí)三坐(zuò)标測量儀的(de)測量精度誤差也(yě)會大(dà)大(dà)減少。假如條件答(dá)應,嘉泰精密儀器測量建議(yì)您可(kě)以把儀器放置在恒溫室裏,控制好室内的(de)溫度和(hé)濕度即可(kě)。
爲了(le)完成誤差補償,除了(le)測量溫度外,還(hái)必須知道标尺和(hé)被測件的(de)等效線膨脹系數。所謂等效線膨脹系數是指實踐機器中除與材料有關,還(hái)和(hé)固定方法有關,所以通(tōng)過實測得(de)到等效線膨脹系數既可(kě)以更好地反映标尺的(de)使用(yòng)狀态及熱(rè)變形誤差現狀,又契合一緻性原則,因爲采用(yòng)同一測溫元件确定等效線膨脹系數和(hé)進行誤差補償,消除了(le)測溫元件溫度标定誤差的(de)影(yǐng)響。
3、測頭及附件誤差
三坐(zuò)标測量儀的(de)位移量z是被測尺寸L與測端等效直徑d的(de)和(hé)(測量外尺寸)或差(測量内尺寸),因而測端等效直徑的(de)标定具有重要意義。測端等效直徑的(de)标定方法是用(yòng)測頭測量尺寸通(tōng)過标定的(de)規範球或量塊,儀器移動量與規範球或量塊尺寸之差即爲測端等效直徑。需求指出的(de)是:因爲測杆的(de)彈性變形對(duì)測球的(de)等效直徑影(yǐng)響很大(dà),因而替換測杆、加接長(cháng)杆、接轉接體或回轉體轉動角度後,都要對(duì)測端的(de)等效直徑進行重新标定。